MEMS 一氧化碳氣體傳感器

MEMS 一氧化碳氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導率發生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。

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產品特性

1、驅動電路簡單、穩定性好、壽命長

2、尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快

3、采用MEMS工藝，結構堅固，對CO靈敏度高

技術參數

產品類型			MEMS一氧化碳氣體傳感器
標準封裝			陶瓷封裝
檢測氣體			一氧化碳
檢測濃度			5ppm-5000ppm(CO)
標準電路條件	回路電壓	V_c	≤24V DC
	加熱電壓	V_H	2.5V±0.1V ACorDC （高溫） 0.5V±0.1V ACorDC （低溫）
	負載電阻	R_L	可調
	加熱時間	T_L	60s±1s（高溫），90s±1s（低溫）
標準測試條件下	加熱電阻	R_H	80Ω±20Ω（室溫）
	加熱功耗	P_H	≤50mW
	敏感體電阻	R_s	1KΩ-30KΩ(in 150ppm CO)
	靈敏度	S	Ro(in air)/Rs(150ppm CO)≥3
標準測試條件	溫度、濕度		20℃±2℃；55%RH±5%RH
標準測試條件	標準測試電路		Vc:5.0V±0.1V； V_H:2.5V±0.1V (高溫) 0.5V±0.1V (低溫)

*具體參數請以規格書為準，如需獲取更多技術信息，請聯系：0371-86630636

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